ICS77.150.99 H68 中华人民共和国国家标准 GB/T26028—2010 铝 蒸 发 料 Evaporatedaluminummaterial 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。 本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人:尚再艳、王永辉、王鹏、杨永刚、熊晓东、江轩。 ⅠGB/T26028—2010 铝 蒸 发 料 1 范围 本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货 单(或合同)内容。 本标准适用于半导体行业用的各类铝蒸发料。其他用途的铝蒸发料也可参照使用。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 3 要求 3.1 产品分类 铝蒸发料的类型按铝的纯度分为IC-Al99.999和IC-Al99.9995两种。 铝蒸发料形状主要分为片状和柱状两种,如图1所示。 图1 铝蒸发料示意图 3.2 成分要求 铝蒸发料的化学成分要求见表1。 1GB/T26028—2010 表1 铝蒸发料的化学成分 % 牌号 IC-Al99.999 IC-Al99.9995 Al含量不小于 99.999 99.9995 必检杂质元素As、Ag、Au、B、Be、Ca、Ce、Cr、Cs、Cu、Fe、K、Li、Mg、Mn、Na、Ni、P、Sb、Si、Sn、Th、 Ti、U、V、Zr、Zn 杂质总含量不大于0.001 其中:K+Na+Li:≤0.00010.0005 其中:K+Na+Li:≤0.0001 注1:铝的含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量。 注2:顾客对某种特定杂质元素含量有要求的,由供需双方协商确认。 铝蒸发料的非金属元素含量(%)要求如下: C:≤0.0020、Cl:≤0.0004、N:≤0.0010、O:≤0.0030、H:≤0.0001、S:≤0.0010 3.3 供货状态 铝蒸发料以加工态供货。 3.4 几何尺寸 铝蒸发料的规格及允许偏差如表2所示。 表2 铝蒸发料规格 项 目片状 柱状 A B C R D L 尺寸/mm10 10 2 1 3 6 15 15 2 1.5 6 6 — — — — 7 20 允许偏差/mm ±0.5 ±0.5 ±0.2 — ±1 ±1 注:经双方协商,可提供其他规格及允许偏差的铝蒸发料。 3.5 外观质量 铝蒸发料表面应光亮平整、洁净,边、角完整,无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷;应清洁、无油 污和锈蚀;应无颗粒附加物和其他沾污。 4 试验方法 4.1 铝蒸发料的金属杂质、Cl含量采用辉光放电质谱(GDMS)检测。非金属杂质元素C、N、O、H、S 2GB/T26028—2010 的分析方法由供需双方协商决定。 4.2 铝蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行。客户特别要求,可按技术协议或按需方图 纸、来样检查验收。 4.3 外观质量用目视检查,如发现异常现象,用10倍放大镜鉴别。 5 检验规则 5.1 检查和验收 5.1.1 铝蒸发料由供方检验部门进行检验,保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定,并填写质 量证明书。 5.1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验,如检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符 时,应在收到产品之日起3个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样由供需双方 共同进行。 5.2 组批 铝蒸发料应成批提交检验。每批应由同一炉次、牌号和规格的产品组成。 5.3 检验项目、取样位置和取样数量 取样位置和取样数量按表3的规定进行。 表3 检验项目、取样位置及数量 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号检验方法的章条号 化学成分 熔炼留样 每炉1个 3.2 4.1 尺 寸 成品随机取样按GB2828.1标准取S-1, AQL=1.5抽取样品3.4 4.2 表面质量 成品随机取样按GB2828.1标准取S-1, AQL=1.5抽取样品3.5 4.3 包装质量 — 逐件 6.2.1 4.4 5.4 检验结果判定 5.4.1 化学成分不合格时,重新取双倍样进行重复试验,若检验合格,判该炉铸锭成分合格,若仍有不 合格,则判该炉铸锭不合格。 5.4.2 尺寸不合格时,判该批产品不合格。 5.4.3 外观质量不合格时,判该批产品不合格。 3GB/T26028—2010 6 标志、包装、运输、贮运 6.1 标志 在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签,注明: a) 产品名称; b)纯度; c)规格; d)净重; e)批号; f)生产日期; g)供方名称; h)生产厂家地址电话。 6.2 包装、运输和贮存 6.2.1 铝蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种,塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整,无 开裂,无贯通。真空袋封口要平整无贯通,真空袋体无漏洞,无真空泄漏。 6.2.2 外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。 6.2.3 产品运输过程中应防止碰伤、擦伤,不得损坏和沾污产品,并保证运输过程中产品及包装完整。 6.2.4 产品应保存于清洁、干燥的环境中。 6.3 质量证明书 每批产品应附有质量证明书,注明: a) 客户名称; b)供方名称; c)产品名称; d)纯度; e)规格; f)数量; g)净重; h)批号; i)检测报告和技术监督部门印记; j)生产日期; k)执行标准号。 7 订货单(或合同)内容 订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容: a) 产品名称; b)纯度; 4GB/T26028—2010 c)规格; d)数量; e)执行标准号; f)其他。 5GB/T26028—2010